超細(xì)微零件加工
超細(xì)微零件加工技術(shù)是X射線深層光刻、微電鑄和微塑鑄三個工藝的組合。該技術(shù)的優(yōu)點是能夠制造出復(fù)雜的三維微型零件，使得傳統(tǒng)工藝所無法做到的超小型部件成為可能。使用該技術(shù)可以加工有機(jī)高分子材料、各種純金屬和陶瓷等，并且可以利用微復(fù)制工藝進(jìn)行微型零件的大批量生產(chǎn)。
高硬度材料超精密加工
高硬度材料一直困擾超精密加工的技術(shù)難題，例如鎢鋼、淬硬鋼、高速鋼、鈦合金、高溫合金、冷硬鑄鐵，如果加工易彎曲變形的細(xì)長軸類零件,超細(xì)微孔、薄壁零件,薄盤類零件與小徑精密螺紋以及形狀復(fù)雜、加工精度與粗糙度有較高要求的時候，很難找到有效的加工方法。不同的要求采用不同的加工工藝顯得尤其重要。
3D光刻微納結(jié)構(gòu)
新云超精，采用灰度光刻和雙光子光刻技術(shù)，加工一些超精刀具無法加工或更為復(fù)雜的微納結(jié)構(gòu)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)、醫(yī)療、生物醫(yī)藥等行業(yè)。
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